粉末冶金工业
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粉末冶金工业  2022, Vol. 32 Issue (03): 127-130    DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20210108
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钼靶材溅射沉积效果差异原因分析
林冰涛1,王娜2,杨明珲2,王承阳1,张保红1,熊宁1
1. 安泰科技股份有限公司,北京100081;2. 航天材料及工艺研究所,北京100076)
Analysis of difference in sputtering deposition effect of molybdenum target
LIN Bingtao1,WANG Na2,YANG Minghui2,WANG Chengyang1,ZHANG Baohong1, XIONG Ning1
1. Advanced Technology & Materials Co. Ltd,Beijing 100081,China;2. Aerospace Research Institute of Materials & Processing Technology,Beijing 100076,China
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