TiN硬质薄膜制备技术的研究进展

王洪涛，李 宏

粉末冶金工业 ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (01) : 60-63.

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粉末冶金工业 ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (01) : 60-63. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20150014
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TiN硬质薄膜制备技术的研究进展

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Research progress in preparation methods of TiN hard films

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