王巍, 张欣楠, 陈向阳, 孙悦, 白雪, 刘宇阳, 杨磊, 王鹏宇, 王志刚, 卢俊强, 王星明
开展了烧结温度及脱附后处理对碳化硼-氧化铝(WABA)芯块氢体积分数的影响研究,通过惰性气体熔融-热导法分析样品的氢体积分数。结果表明:烧结温度从1 300 ℃升至1 590 ℃,芯块氢体积分数下降69.3%,脱氢效果显著;脱附后处理研究表明,芯块呈现三阶段脱氢特征,分别为孔隙吸附水(<120 ℃,氢体积分数93.996×10-6)、深孔毛凝水及内部结晶水(120~550 ℃,氢体积分数22.211×10-6)、结合态羟基及残留有机物(>550 ℃);当环境湿度(RH)<30%时,氢体积分数可降至17.583×10-6;与氩气相比,氦气扩散速率快、分子小,平均氢脱附率提升42.2%,最低可达10×10-6以下;当RH>70%时,脱附处理后的芯块存在二次吸氢行为;过程能力分析表明,多批次芯块氢体积分数CPK值大于2.0,验证了测试方法及工艺的稳定性,为WABA芯块的生产与质量控制提供了理论依据和技术支持。