多弧离子镀TiN涂层的N2/Ar流量参数研究

陈昌浩，金永中，陈 建，蔡 瑜，余学金，龙国俊

粉末冶金工业 ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (03) : 44-48.

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粉末冶金工业 ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (03) : 44-48. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20150055
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多弧离子镀TiN涂层的N2/Ar流量参数研究

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Study on N2/Ar flow parameters of TiN coating deposited by multi-arc ion plating

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