利用多晶硅切割废料制备SiC粉体

吴跃东，张国华，韩培伟，周国治

粉末冶金工业 ›› 2017, Vol. 27 ›› Issue (03) : 15-20.

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粉末冶金工业 ›› 2017, Vol. 27 ›› Issue (03) : 15-20. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20160036
研究与开发

利用多晶硅切割废料制备SiC粉体

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Preparation of SiC powder by using polysilicon cutting waste

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