高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能

高 迪，林松盛，许 伟，邹俭鹏，杨洪志

粉末冶金工业 ›› 2019, Vol. 29 ›› Issue (01) : 18-23.

欢迎访问《粉末冶金工业》官方网站！今天是
粉末冶金工业 ›› 2019, Vol. 29 ›› Issue (01) : 18-23. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20180118
研究与开发

高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能

  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 +

Microstructure and performance of diamond-like carbon films fabricated by high power impulse hybrid DC magnetron sputtering

  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information +
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

图表

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2019, 29(01): 18-23 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20180118
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2019, 29(01): 18-23 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20180118
中图分类号：

参考文献

列表( 原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序 ) 可视化分析

参考文献

{{article.reference}}

基金


编委：
主编：
责任编辑：
编辑:

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章
双月刊，1991年创刊
ISSN 1006-6543　CN 11-3371/TF
主　　管：中国钢铁工业协会
主　　办：中国钢研科技集团有限公司
　　　　　中国钢协粉末冶金分会
　　　　　中国机协粉末冶金分会
编辑出版：北京钢研柏苑出版有限责任公司
国内发行：中国邮政集团有限公司北京市报刊发行局（邮发代号：82-79）
国外发行：中国国际图书贸易集团有限公司北京399信箱（发行代号：BM5649）
地　　址：北京市海淀区学院南路76号(100081)
电　　话：010-62181017　
E-mail：PMI@chinamet.cn
×

扫码分享

×

扫码分享

　版权所有 © 《粉末冶金工业》编辑部

/

〈 〉