射频磁控溅射法成长Cu-Al-O薄膜的特性分析

王春艳，康 金

粉末冶金工业 ›› 2020, Vol. 30 ›› Issue (01) : 42-45.

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粉末冶金工业 ›› 2020, Vol. 30 ›› Issue (01) : 42-45. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20190011
研究与开发

射频磁控溅射法成长Cu-Al-O薄膜的特性分析

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Characteristic analysis of Cu-Al-O films prepared by RF magnetron sputtering method Q235 steel surface

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