多体底-壁组合结构夹角参数与干法制备氮化硅微球特性分析

廖达海，殷明帅，易嘉琦，黄佳雯，段桃， 吴南星

粉末冶金工业 ›› 2021, Vol. 31 ›› Issue (06) : 47-53.

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粉末冶金工业 ›› 2021, Vol. 31 ›› Issue (06) : 47-53. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20200236
研究与开发

多体底-壁组合结构夹角参数与干法制备氮化硅微球特性分析

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Characteristic analysis of Si3N4 microsphere prepared by dry method with angle parameters of multi-body bottom wall composite structure

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