磁控溅射基底温度对低矫顽力Fe-Si薄膜磁性能的影响

李同奎，周春霞，严鹏飞，严彪

粉末冶金工业 ›› 2021, Vol. 31 ›› Issue (03) : 32-38.

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粉末冶金工业 ›› 2021, Vol. 31 ›› Issue (03) : 32-38. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20210056
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磁控溅射基底温度对低矫顽力Fe-Si薄膜磁性能的影响

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Influence of substrate temperature on magnetic properties of low coercivity Fe-Si thin film

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