钼靶材溅射沉积效果差异原因分析

林冰涛，王娜，杨明珲，王承阳，张保红，熊宁

粉末冶金工业 ›› 2022, Vol. 32 ›› Issue (03) : 127-130.

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粉末冶金工业 ›› 2022, Vol. 32 ›› Issue (03) : 127-130. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20210108
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钼靶材溅射沉积效果差异原因分析

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Analysis of difference in sputtering deposition effect of molybdenum target

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