氧化锌铝陶瓷靶材制备工艺研究

唐培新，吕周晋，车立达，吴战芳

粉末冶金工业 ›› 2023, Vol. 33 ›› Issue (04) : 22-26.

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粉末冶金工业 ›› 2023, Vol. 33 ›› Issue (04) : 22-26. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20220173
研究与开发

氧化锌铝陶瓷靶材制备工艺研究

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Study on the preparation process of Al-doped-ZnO (AZO) ceramic target

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