烧结温度对镍钨合金靶材微观组织及溅射薄膜性能的影响

高铭, 王文焱, 岳慎伟, 谢敬佩, 杨雷雷, 崔云峰

粉末冶金工业 ›› 2025, Vol. 35 ›› Issue (01) : 45-52.

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粉末冶金工业 ›› 2025, Vol. 35 ›› Issue (01) : 45-52. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20230092
研究与开发

烧结温度对镍钨合金靶材微观组织及溅射薄膜性能的影响

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Effect of sintering temperature on the microstructure and sputtering film performance of the Ni-W alloy target

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