磁控溅射钛靶材的发展概述

董亭义 ，万小勇 ，章程，何金江，吕保国

金属功能材料 ›› 2017, Vol. 24 ›› Issue (5) : 57-62.

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金属功能材料 ›› 2017, Vol. 24 ›› Issue (5) : 57-62. DOI: 10. 13228/j. boyuan. issn1005- 8192. 2017028

磁控溅射钛靶材的发展概述

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The present status and development trend of magnetron sputtering Ti target

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