衬底温度对FeCrCoNiMn高熵合金氮化物薄膜组织结构和电性能的影响

杨克蒋，张国庆，汪亮兵，罗永春

金属功能材料 ›› 2018, Vol. 25 ›› Issue (2) : 36-42.

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金属功能材料 ›› 2018, Vol. 25 ›› Issue (2) : 36-42. DOI: 10. 13228/j. boyuan. issn1005- 8192. 2017066

衬底温度对FeCrCoNiMn高熵合金氮化物薄膜组织结构和电性能的影响

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The influence of substrate temperature on the structure and electrical properties of FeCrCoNiMn high entropy alloy nitride films

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