TiAl合金薄膜在MEMS领域中的应用研究和进展

水露雨 ，严彪

金属功能材料 ›› 2014, Vol. 21 ›› Issue (3) : 44-48.

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TiAl合金薄膜在MEMS领域中的应用研究和进展

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Application Research Process on TiAl Alloy Film in MEMS Field

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