磁控溅射用难熔金属靶材制作、应用与发展

贾国斌 冯寅楠 贾英

金属功能材料 ›› 2016, Vol. 23 ›› Issue (6) : 48-52.

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磁控溅射用难熔金属靶材制作、应用与发展

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Manufacture, Application and Development of Refractory Metal Target Used on Magnetron Sputtering

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