磁控溅射基底温度对低矫顽力Fe-Si薄膜磁性能的影响
李同奎，周春霞，严鹏飞，严彪
Influence of substrate temperature on magnetic properties of low coercivity Fe-Si thin film
LI Tongkui1，2，ZHOU Chunxia1，2，YAN Pengfei2，3，YAN Biao1，2
粉末冶金工业
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2021, (03): 32
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DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20210056
